ASM貼片機(jī)C&P20P/M2貼片頭真空系統(tǒng)是保障元件精準(zhǔn)拾取、轉(zhuǎn)移與貼片的核心系統(tǒng)，主要由拾取 / 貼片回路和保持回路兩大部分構(gòu)成，協(xié)同實現(xiàn)元件處理全流程的穩(wěn)定控制。

ASM貼片機(jī)C&P20P/M2貼片頭拾取 / 貼片回路承擔(dān)雙重關(guān)鍵職能，一方面能生成拾取與吸持元件所需的真空，確保元件在轉(zhuǎn)移前牢固吸附；另一方面可提供貼片時所需的吹氣，助力元件精準(zhǔn)放置。該回路包含多個核心組件，真空分配器工作壓力穩(wěn)定在 4.8-5.0bar，是氣路分配的重要樞紐；Z 軸收縮裝置、冷卻系統(tǒng) X 軸電機(jī)的空氣組件、段位器、中間分配器板以及 MHCU（多功能控制單元）等，共同保障回路運行的順暢與高效。在拾取過程中，吸嘴上的真空能達(dá)到最大值，以此保證對不同規(guī)格元件的可靠吸附，同時通過壓力控制閥可實時測量真空與吹氣數(shù)值，為系統(tǒng)調(diào)節(jié)提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐。


保持回路則專注于元件轉(zhuǎn)移階段的穩(wěn)定，當(dāng)元件處于吸嘴上且不在拾取位置時，該回路能持續(xù)提供吸持力，防止元件在轉(zhuǎn)移過程中脫落或偏移，有效保障元件轉(zhuǎn)移的穩(wěn)定性。


此外，ASM貼片機(jī)C&P20P/M2貼片頭拾取 / 貼片回路通過平滑的分配板盤與保持回路實現(xiàn)連接，確保兩大回路之間氣路傳導(dǎo)的順暢與狀態(tài)切換的平穩(wěn)。同時，回路中的調(diào)壓閥具備靈活調(diào)節(jié)功能，可在拾取 / 貼片回路中實現(xiàn)最大真空與最大吹氣之間的無限次調(diào)整，滿足不同元件在拾取和貼片環(huán)節(jié)的差異化壓力需求，進(jìn)一步提升了貼片機(jī)的適配性與貼片精度。